ポンプ導入事例

吸引・吸着搬送

半導体製造工場でウエハ(半導体材料)の吸着にもミウラの水封式真空ポンプは活躍しています。オイルミストの心配もなくクリーンな環境下での使用に適しています。
また、インペラも2段式なので真空度も高いため、強い吸引力を得ることができます。

フロー図


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