超脱酸素装置LDO
溶存酸素（DO）を5μg/Lまで除去
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- LDO-1E・2E
- 用途：半導体洗浄用水製造、精密部品洗浄用水製造、各種研究用水処理
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特長
溶存酸素を極限まで除去
特殊脱酸素モジュールとミウラ独自の真空脱気法により、5μg/Lの超脱酸素水を供給します。
超純水にも対応可能
クリーン設計、クリーン製造のため、超純水供給にも対応します。
コンパクト設計で省スペース
真空ポンプや脱酸素モジュールなどの部品を本体内に搭載したコンパクト設計です。