超脱酸素装置LDO

溶存酸素(DO)を5μg/Lまで除去

  • LDO-1E・2E
  • 用途:半導体洗浄用水製造、精密部品洗浄用水製造、各種研究用水処理

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特長

溶存酸素を極限まで除去

特殊脱酸素モジュールとミウラ独自の真空脱気法により、5μg/Lの超脱酸素水を供給します。

超純水にも対応可能

クリーン設計、クリーン製造のため、超純水供給にも対応します。

コンパクト設計で省スペース

真空ポンプや脱酸素モジュールなどの部品を本体内に搭載したコンパクト設計です。

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